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K 1000質量流量制御器
K 1000は高精度、高安定性の熱式質量流量制御器である。そのレンジ範囲は10 sccmから1000 sccm、K 1000 Aは小流量レンジMFC（10 sccm ~ 50 slm）であり、多ガス多レンジ機能を備え、8種類のBIN Sizeは10 sccm ~ 50 slmのすべての流量に対応でき
製品の詳細
利点
•センサー部分にはハースト合金を採用し、耐食性が強い。
•製品精度が高く、100%～25%：±1.0%of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S.応答時間が速い（≦1 s）
•製品はマルチガスマルチレンジ機能を有し、ガスの種類、流量の変更設定が可能
•大流量（最大1000 Lまで）デジタルモード通信モードをサポート
•製品はCE、RoHS認証を取得
技術パラメータ
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モデル |
K1000A |
K1000B |
K1000C |
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流量仕様（N 2換算流量） |
Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM |
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Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM |
Bin 6: 3SLM ~10SLM |
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60SLM 、100SLM、 |
200SLM、300SLM、 |
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Bin 3: 100SCCM~300SCCM |
Bin 7: 10SLM~ 30SLM |
Bin 8: 30 SLM ~50SLM |
150SLM、200SLM |
400SLM、500SLM |
600 SLM、1000 SLM（N 2、H 2、Airなど） |
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Bin 4: 300 SCCM ~1SLM |
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Bin 5: 1SLM ~3SLM |
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バルブタイプ |
N/O：常開型、N/C：常閉型 |
N/C：常閉型 |
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流量制御範囲 |
2%～100%F.S. |
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せいど |
100%～25%：±1.0% of S.P.， |
±1%F.S.（精度保証範囲15～35℃） |
±2%F.S.（精度保証範囲15～35℃） |
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動作環境温度 |
5～50℃ |
5～45℃ |
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レスポンス時間 |
≦1sec |
≦3sec |
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線形 |
±0.5%F.S. |
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くりかえしせいど |
±0.2%F.S. |
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作動差圧範囲 |
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N/O100～300KPa (3SLM～10SLM) |
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50～300KPa |
N/O150～300KPa (11SLM～30SLM) |
200～300KPa |
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（Ar: 100～300KPa） |
N/C100～300KPa (3SLM～30SLM) |
（Ar: 250～450KPa） |
100～300KPa |
150～300KPa |
300～450kPa (H2：150～300kPa) |
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（Ar 200～3500KPa） |
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おんどけいすう |
Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ |
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さいだいどうさあつりょく |
400KPa（Ar:500KPa） |
700KPa |
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たいあつ |
1MPa |
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ろうえいりつ |
金属シール：1×10－11Pa・m3/sec He (1×10－10atm・cc/sec He) |
ラバーリングシール：1×10-7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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ラバーリングシール：1×10－7Pa・m3/sec He (1×10－6atm・cc/sec He) |
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シール材 |
金属密封フッ素ゴムクロロプレンゴム |
フッ素ゴムクロロプレンゴム |
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通信形式 |
アナログ：0～5 V DCデジタル：RS 485、DeviceNet、EtherCAT |
アナログ：0 ~ 5 V DCデジタル：RS 485、DeviceNet、 |
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電源装置 |
アナログ/デジタル：＋15 VDC 50 mA、−15 VDC 200 mA、 DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W) |
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標準ジョイント形式 |
VCR 1/4雄継手、ダブルジャケット1/4雄継手、1.5''W-Seal、1.125''W-Seal、1.125''C-Seal |
VCR 3/8雄継手、ダブルジャケット3/8雄継手 |
VCR 1/2雄継手、ダブルジャケット1/2雄継手 |
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じゅうりょう |
1.0kg |
3.0kg |
3.7kg |
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